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      怎么根據氯化氫的本身特性來進行選擇

      發布日期:2017-01-11 16:35:01 打印
          氯化氫氣體管件在安裝時,施工原則是應盡可能地以連續式且無接口的方式進行,這樣可以減少使用接頭的數量,降低潛在的氯化氫氣體泄漏風險。

          管件與管件間的連接最好以軌道式焊接法(Orbital Welding)來接合,對于不銹鋼的焊接要采用氬弧焊,并向施焊管內通入同等純度的氬氣,這樣可以確保連接的品質,并防止管件內壁因不當的焊接而沉積碳,從而造成氯化氫氣體管件的污染。

          管件與各種配件之間的連接必須以金屬面對金屬面密封(Metal to metal face seal)的方式進行。一般晶圓廠比較常用的氯化氫氣體管路連接的接頭方式有VCR 和Swagelok兩種,具體選用形式應根據生產工藝對高純度氯化氫氣體的用氣要求和氯化氫氣體本身特性進行選擇。

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